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硅藻土，是被称之为硅藻的单细胞植物死亡后经过1至2万年左右的堆积期，形成的一种化石性的硅藻堆积土矿床。硅藻是 早在地球上出现的原生生物之一，生存在海水或者湖水中。
外加电压使气体电离的过程中，被电离出的等离子体温度高，但整个体系呈现低温状态，所以又被称为低温等离子体。由于低温等离子体产生不需催化剂，且对有机废气的浓度要求不高，所以特别适合汽车行业喷漆、烘干过程中产生的有机废气。经过低温等离子焚烧后的废气转化为CO2和H2O，不产生二次污染，并且后的气体无异味，效率高。为低温等离子废气工艺流程图。从图中可以看出，DBD燃烧器是整个工艺过程中的核心，废气在燃烧器中进行和转化为无无害的无机分子，达到废气的目的。
这种硅藻土是由单细胞水生植物硅藻的遗骸沉积所形成，这种硅藻的独特性能在于能吸收水中的游离硅形成其骨骸，当其生命结束后沉积，在一定的地质条件下形成硅藻土矿床。它具有一些独特的性能，如：多孔性、较低的密度、较大的比表面积、相对的不可压缩性及化学稳定性，在通过对原土的粉碎、分选、煅烧、气流分级、去杂等工序改变其粒度的分布状态及表面性质后，可适用于涂料油漆添加剂等多种工业要求。